超高温石墨化炉技术参数：电源容量60KVA、IGBT电源4000～8000Hz（自动跟踪）、温度3000℃、控温精度±2℃、测温方式1100℃～3000℃采用日本千野红外仪、有效工作区尺寸Φ200×200 mm（直径×高）、冷态极限真空度133Pa、压升3.0 Pa/h、保护气氛氩气 氮气、充气压力≤ 0.03MPa、进出料方式上部装出料、升温条件气氛烧结（惰性气体）

超高温石墨化炉结构组成：炉体、炉盖、加热感应器、保温层及电极引出装置、水循环分配系统、真空系统、温控系统等。电器系统由电源采用60KVA、IGBT晶体管中频电源和水冷电缆，中频电源装置设有中频功率、电压、中频频率、直流电压、电流等指示仪表，操作显示器件（中频电源具备零点动功能）。控制回路具备过压、过流、断水等声光报警功能。控制部分以15寸触摸屏和可编程控制器PLC为核心。