真空碳管烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行的控制。

　　真空碳管烧结炉主要用于工业陶瓷、结构陶瓷、金属陶瓷、硬质合金行业作为材料在气氛和压力条件下的烧结设备。系周期作业式电炉，它是以优质石墨作发热体的高温、高真空电阻炉，额定温度为2000℃。在特殊需要的情况下，允许在保护气氛中，短时间工作到2400℃-2500℃。可供金属、难熔化合物及陶瓷材料等在真空或保护气氛中加热之用。

　　真空碳管烧结炉主要由炉体、炉门、加热与保温及测温系统、真空系统、充气系统、水冷系统、控制系统、液压系统等组成。

　　1、炉体：双层304不锈钢水冷结构，并经精密抛光，有利于缩短抽气时间，且便于清洁；

　　2、炉盖：双层水冷的结构，内外壁均为304并经精密抛光处理，中间通冷却水。

　　3、加热保温及测温系统：采用钼丝加热，氧化铝绝缘柱组成筒形结构形式；隔热屏采用由内层钼片(5层)外层为1层不锈钢片组成6层隔热屏，屏盖与屏底的材料与之相同，也采用6层，特点洁净度高，能快速加热,透气性好。上下压头采用高强度石墨。测温元件采用钨铼热电偶，可控硅控温，配置有PID功能仪表，数显表，具有超温声光报警功能，也可选用PLC触摸屏自动控制，并保留历史数据，便于分析烧结过程。

　　4、真空系统：由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀（防止因突然停电、机械泵油倒灌）充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表（±Pa）波纹管、真空管路和支架等组成。

　　5、充气系统：由各种管道及阀门组成，并配有电磁放气阀、压力传感器，当炉内压力高于安全值时会自动放气，充气管路上装有针阀，可控制充气量，用于烧结工艺所需充氩气、氮气的气氛要求；

　　6、水冷系统：由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源等功能。

　　7、充气装置：主要由充气阀、流量计、充气管道等组成，用于烧结工艺所需充氩气、氮气的气氛要求；

　　8、控制系统：由可编程控制器PLC、温控仪、真空计、电压电流表、直流稳压电源、空开、接触器、继电器、按钮、指示灯等组成，以实现供电、控制、记录、监视、报警保护功能。

　　9、液压系统：采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器采用光栅尺（测距精度0.02mm）、液压缸等相关液压装置，压力调节半自动化、可通过手动调节。仪表可设定自动调节压力，并能实现稳压、保压。